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                半自動勻膠機

                簡要描述:全新外觀設計,適配實驗室實驗操作
                半導體顯影機
                *進的設計理念,模塊化設計
                可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷
                支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制
                可實現不同功能模塊的自由組合定制
                配載精密的運動控制系統,提高實驗精度及重復性

                • 產品型號:AC200-CTM
                • 廠商性質:生產廠家
                • 更新日期:2025-02-11
                • 訪  問  量:4111

                產品特點

                全新外觀設計,適配實驗室實驗操作

                *進的設計理念,模塊化設計

                可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷

                支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制

                可實現不同功能模塊的自由組合定制

                配載精密的運動控制系統,提高實驗精度及重復性


                產品參數

                轉速范圍:20-10000rpm

                轉速分辨率:±1rpm

                加速度可調范圍:20-50000rpm/s

                單步時長:3000s

                時間分辨率:0.1s

                適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤

                顯影噴嘴距離基片高度可調,可調范圍10-50mm

                可添加背洗功能(根據客戶需求而定)




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